深圳市洁美瑞净化设备有限公司欢迎您!
洁净室系统专业供应商
7*24小时服务热线:
18933310257

10级微电子洁净室

微电子洁净室概述 微电子产品生产过程中广泛应用了高精密制造设备,这使微电子工业洁净厂房的形式、构造和整体建造成本都发生了极大的变化。微电子工业洁净厂房采用多功能组合式建筑形式日益增多,微电子产品生产工艺及其制造设备的集成化、过程控制自动......
5000.00

微电子洁净室概述

微电子产品生产过程中广泛应用了高精密制造设备,这使微电子工业洁净厂房的形式、构造和整体建造成本都发生了极大的变化。微电子工业洁净厂房采用多功能组合式建筑形式日益增多,微电子产品生产工艺及其制造设备的集成化、过程控制自动化水平日益提高,安全设施日益完善,生产过程所需的作业人员大大减少,这些都提高了微电子产品生产过程的稳定性和安全可靠性,为生产环境创造了良好的条件。

微电子洁净室结构:

FFU+BAR结构+高架地板,并设置回风墙,顶部整个做为静压箱的设计。

微电子洁净室洁净度级别:

空气洁净度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5um
1um
 
ISO Class 1
10
2
 
 
 
 
ISO Class 2
100
24
10
4
 
ISO Class 3
1 000
237
102
35
8
 
ISO Class 4
10 000
2 370
1 020
352
83
 

我要询价
×
我要订购
×