百级单向流(层流)车间
在100级单向流洁净室内,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化,加上进风静压箱和高效过滤器的均压均流作用,全室断面上的流速比较均匀,而至少在工作区内流线单向平行,没有涡流。这也就是单向流洁净室的三大特点。这里的流线单向平行,是指时均流线彼此平行,方向单一。
100级单向流(层流)洁净室控管项目:
1、能除去空气中飘游之微尘粒子。 2、能防止微尘粒子之产生。
3、温度和湿度之控制。 4、压力之调节。
5、 有害气体之排除。 6、结构物与隔间之气密性。
7、静电之防制。 8、电磁干扰预防。
9、安全因素之考虑。 10、节能之考量。100级层流式(Laminar)无尘室气流流型说明:
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。100级洁净室之构成
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:
(1)天花板系统:FFU+BAR结构。
(2)空调系统:包括静压舱、过滤器系统、风机盘管等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
(4)地板:高架地板。
(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。